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產(chǎn)品資料

S3030F高壓型高精度源表SMU

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產(chǎn)品名稱: S3030F高壓型高精度源表SMU
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商: 蘇州聯(lián)訊
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

S3030F高壓型高精度源表SMU 聯(lián)訊儀器S3030F是結(jié)構(gòu)緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的單通道高電壓、高功率電源/測量單元,能夠同時(shí)輸出和測量電壓和電流, 能夠提供*大±3500V、±120mA(直流)、10 GΩ、180W功率輸出,能廣泛地應(yīng)用在功率半導(dǎo)體特性,GaN、SiC表征,復(fù)合材料,高壓漏電流等測試和研究領(lǐng)域。S3030F支持傳統(tǒng)的SMU SCPI命令,讓測試代碼的遷移變得輕松快捷, 可支持多機(jī)同步,集成到生產(chǎn)測試系統(tǒng)中使用,以提高系統(tǒng)的測試效率并降低成本。


S3030F高壓型高精度源表SMU  的詳細(xì)介紹
S3030F高壓型高精度源表SMU

聯(lián)訊儀器S3030F是結(jié)構(gòu)緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的單通道高電壓、高功率電源/測量單元,能夠同時(shí)輸出和測量電壓和電流, 能夠提供*大±3500V、±120mA(直流)、10 GΩ、180W功率輸出,能廣泛地應(yīng)用在功率半導(dǎo)體特性,GaN、SiC表征,復(fù)合材料,高壓漏電流等測試和研究領(lǐng)域。S3030F支持傳統(tǒng)的SMU SCPI命令,讓測試代碼的遷移變得輕松快捷, 可支持多機(jī)同步,集成到生產(chǎn)測試系統(tǒng)中使用,以提高系統(tǒng)的測試效率并降低成本。 


S3030F高壓型高精度源表SMU電壓源指標(biāo):

電壓設(shè)置精度

量程

設(shè)置分辨率

精度(1)

±(%讀數(shù)偏置)

典型噪聲(有效值)

0.1 Hz-10Hz

±3500 V

40 mV

0.02%+600 mV

50 mV

±2500 V

30 mV

0.02%+450 mV

40 mV

±1500 V

20 mV

0.02%+300 mV

25 mV

±600 V

7mV

0.02%+120 mV

10 mV

±200 V

3mV

0.02%+40 mV

3 mV

溫度系數(shù)

±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0-18,28-50)

設(shè)置時(shí)間

<5 mS (典型值)

過沖

<±1% (典型值,Normal,步進(jìn)是范圍的 10%  90%,滿量程點(diǎn),電阻性負(fù)載測試)

噪聲10Hz-20MHz

1500V電壓源,120 mA電阻負(fù)載,<200mV RMS


S3030F高壓型高精度源表SMU電流源指標(biāo):

電流設(shè)置精度

量程

設(shè)置分辨率

精度(1)

±(% 讀數(shù)+偏置)

典型噪聲(有效值)0.1Hz-10Hz

±120 mA1

3 uA

0.02% + 35 μA

120 uA

±20 mA

400 nA

0.02% + 15 μA

20 uA

±10 mA

200 nA

0.02% + 3 uA

10 uA

±1 mA

20 nA

0.02% + 300 nA

1 uA

±100 μA

2 nA

0.02% + 30 nA

100 nA

±10 μA

200 pA

0.03% + 5 nA

10 nA

±1 μA

20 pA

0.03% + 1 nA

1 nA

±100 nA

2 pA

0.2% +100 pA+Vo x 100 fA

100 pA

±10 nA

200 fA

0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA

10 pA

±1 nA

20 fA

0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA

1 pA

溫度系數(shù)

±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0-18,28-50)

設(shè)置時(shí)間

<10 ms (典型值)

過沖

<±1% (典型值,Normal,步進(jìn)是范圍的 10%  90%,滿量程點(diǎn),電阻性負(fù)載測試)

1,120mA量程僅支持1500V及以下電壓量程

S3030F高壓型高精度源表SMU電壓表指標(biāo):

電壓測量精度

量程

顯示分辨率

精度(1)±(%讀數(shù)+偏置)

±3500 V

1 mV

0.02%+600 mV

±2500 V

1mV

0.02%+450 mV

±1500 V

1 mV

0.02%+300 mV

±600 V

100 uV

0.02%+120 mV

±200 V

100 uV

0.02%+40 mV

溫度系數(shù)

±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0-18,28-50)

S3030F高壓型高精度源表SMU電流表指標(biāo):



電流測量精度

量程

顯示分辨率

精度(1)  ±(% 讀數(shù)+偏置)

±120 mA1

100 nA

0.02% + 35 μA

±20 mA

10 nA

0.02% + 15 μA

±10 mA

10 nA

0.02% + 3 uA

±1 mA

1 nA

0.02% + 300 nA

±100 μA

100 pA

0.02% + 30 nA

±10 μA

10 pA

0.03% + 5 nA

±1 μA

1 pA

0.03% + 1 nA

±100 nA

100 fA

0.2% +100 pA+Vo x 100 fA

±10 nA

10 fA

0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA

±1 nA

1 fA

0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA

溫度系數(shù)

±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0-18,28-50)

1,120mA量程僅支持1500V及以下電壓量程

S3030F高壓型高精度源表SMU電阻表指標(biāo)(4)

電阻測量精度

量程

顯示分辨率

默認(rèn)測量電流

典型精度(1)

±(%讀數(shù)+偏置)

100 Ω

100 μΩ

100 mA

0.075% + 400 mΩ

1 kΩ

1 mΩ

10 mA

0.07% + 4 Ω

10 kΩ

10 mΩ

1 mA

0.07% + 40 Ω

100 kΩ

100 mΩ

100 μA

0.07% + 400 Ω

1 MΩ

Ω

10 μA

0.10% + 4 kΩ

10 MΩ

10 Ω

μA

0.15% + 40 kΩ

100 MΩ

100 Ω

100 nA

0.32% + 400 kΩ

1 GΩ

1 KΩ

10 nA

0.32% + 4 MΩ

10 GΩ

10 KΩ

1 nA

0.72% + 40 MΩ

溫度系數(shù)

±(0.15 × 精度指標(biāo))/ (0-18℃,28-50)

手動(dòng)電流源電阻測量

(四線)

總體誤差=測量電壓/電流源設(shè)定電流=電阻讀數(shù)x(電壓源量程的增益誤差百分比+電流表量程的增益誤差百分比+電流源量程偏置誤差/設(shè)定電流)+(電壓源量程偏置誤差/設(shè)定電流值)

示例:電流源設(shè)定電流=10mA 電壓測量量程=200V

總體誤差=(0.02%+0.02%+3μA/10mA)+(40mV/10mA)

0.07%+4Ω

注:測量電壓=默認(rèn)測量電流*被測電阻值≤10.5V


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